新版 X線反射率法入門
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目次
- 1 X線反射率の基礎
- 1.1 光とX線
- 1.2 X線反射率法の特徴
- 1.3 膜密度はどのように決まるか
- 1.4 膜厚はどのように決まるか
- 1.5 膜の表面・界面粗さはどのように決まるか
- 1.6 いろいろな反射率計算法
- 1.7 結晶からの反射率
- 1.8 共鳴磁気反射率
- 1.9 コヒーレンスとコヒーレント回折
- 1.10 実際の測定とデータ解析の基礎
- 2 X線反射率の測定装置と測定方法
- 2.1 X線反射率測定装置に必要な条件
- 2.2 X線反射率測定装置の実際
- 2.3 反射率の測定方法
- 2.4 散漫散乱測定
- 2.5 平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定
- 3 X線反射率のデータ解析法
- 3.1 はじめに
- 3.2 X線反射率のデータ解析の前に
- 3.3 最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順
- 3.4 単層膜の解析と精度の評価
- 3.5 多層膜の解析と精度の評価
- 3.6 多波長X線反射率法
- 3.7 2波長法による多層膜構造解析
- 3.8 3波長法による多層膜構造解析
- 3.9 反射率解析の今後
- 3.10 まとめ
- 4 X線反射率のデータ解析の注意事項
- 4.1 はじめに
- 4.2 理論反射率の与えるプロファイルの一意性について
- 4.3 個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方
- 4.4 最小二乗フィッティング計算に由来する問題
- 4.5 構造モデルに過度に依存しない解析の試み
- 4.6 おわりに
- 5 微小領域分析およびイメージングへの展開
- 5.1 顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合
- 5.2 放射光ナノビームによる微小領域分析
- 5.3 高エネルギー白色X線による微小領域分析
- 5.4 画像再構成法によるイメージング
- 5.5 微小領域分析・イメージングの今後
- 6 時々刻々変化する系の追跡への展開
- 6.1 はじめに
- 6.2 多チャンネルX線反射率法(Naudonの方法)
- 6.3 白色X線反射スペクトル法
- 6.4 従来の角度走査型の装置によるその場計測
- 6.5 時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来
- 7 X線反射率法の応用
- 7.1 半導体薄膜
- 7.2 ハードディスク
- 7.3 X線光学用多層膜
- 7.4 電気化学界面などの固液界面
- 7.5 有機・高分子薄膜
- 7.6 液体の表面,界面,単分子膜
- 8 X線反射率法と併用すると有意義な関連技術
- 8.1 微小角入射蛍光X線分析法
- 8.2 微小角入射X線回折法
- 8.3 共鳴軟X線スペクトル法
- 8.4 GISAXS法
- 8.5 X線光子相関分光法
- 9 中性子の利用
- 9.1 はじめに
- 9.2 中性子反射光学の基礎
- 9.3 中性子反射率法の特徴
- 9.4 中性子反射率法の適用例
- 9.5 X線反射率法経験者の目から見た中性子の利用
- おわりに X線反射率の100年
- 付録1 C++によるX線・中性子反射率計算プログラム
- 付録2 Pythonによる反射率計算プログラム
製品情報
製品名 | 新版 X線反射率法入門 |
---|---|
著者名 | 著・編:桜井 健次 |
発売日 | 2018年07月01日 |
価格 | 定価:6,930円(本体6,300円) |
ISBN | 978-4-06-153296-0 |
判型 | A5 |
ページ数 | 384ページ |
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