固体表面分析（１）
コタイヒョウメンブンセキ
内容紹介
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目次
- 1 総論
- 1．固体と表面とバルク
- 2．表面の性質
- 3．固体の表面上で起こる現象
- 4．固体表面の分析法の発展
- 5．固体表面を調べる分光法
- 6．固体の表面のキャラクタリゼーション
- 7．清浄表面と超高真空
- 2 電子分光法
- 1．電子分光法の基礎
- 2．X線光電子分光法
- 3．オージェ電子分光法
- 3 X線吸収分光法
- 1．X線吸収分光法の基礎
- 2．実験装置
- 3．測定法
- 4．データ解析
- 5．測定・解析例
- 6．参考文献
- 4 二次イオン質量分析法
- 1．緒言
- 2．SIMSの原理
- 3．装置
- 4．SIMSの特徴
- 5．SIMSにおける二次イオン強度
- 6．D-SIMSの実際
- 7．D-SIMSにおける諸問題
- 8．D-SIMSの応用例
- 9．S-SIMS分析の実際
- 10．S-SIMSによる表面評価の応用例
- 11．TOF-SIMSによる表面高感度測定
- 12．SNMSへの展開
- 13．将来展望
- 5 グロー放電発光分光分析法
- 1．グロー放電発光分光分析法（GDOES）の原理
- 2．発光光源と測定法
- 3．スペクトル
- 4．GDOESによる定量分析
- 5．GDOESによる深さ方向分析
- 6．GDOESによる深さ方向プロファイルの定量化
- 7．グロー放電質量分析法（GDMS）との関連
