新版 X線反射率法入門

シンパンエックスセンハンシャリツホウニュウモン
著・編:桜井 健次
新版 X線反射率法入門
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内容紹介

【本書の特徴】
・表面・界面におけるX線の全反射現象の基礎をわかりやすく説明した。
・実験方法やデータ解析法を具体例とともにていねいに解説した。
・なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの立場から詳細に解説した。
・半導体、磁性体、光学多層膜、固液界面、有機薄膜、液体表面などの応用事例を紹介し、中性子の利用についても取り上げた。

目次

  • 1 X線反射率の基礎
  • 1.1 光とX線
  • 1.2 X線反射率法の特徴
  • 1.3 膜密度はどのように決まるか
  • 1.4 膜厚はどのように決まるか
  • 1.5 膜の表面・界面粗さはどのように決まるか
  • 1.6 いろいろな反射率計算法
  • 1.7 結晶からの反射率
  • 1.8 共鳴磁気反射率
  • 1.9 コヒーレンスとコヒーレント回折
  • 1.10 実際の測定とデータ解析の基礎
  • 2 X線反射率の測定装置と測定方法
  • 2.1 X線反射率測定装置に必要な条件
  • 2.2 X線反射率測定装置の実際
  • 2.3 反射率の測定方法
  • 2.4 散漫散乱測定
  • 2.5 平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定
  • 3 X線反射率のデータ解析法
  • 3.1 はじめに
  • 3.2 X線反射率のデータ解析の前に
  • 3.3 最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順
  • 3.4 単層膜の解析と精度の評価
  • 3.5 多層膜の解析と精度の評価
  • 3.6 多波長X線反射率法
  • 3.7 2波長法による多層膜構造解析
  • 3.8 3波長法による多層膜構造解析
  • 3.9 反射率解析の今後
  • 3.10 まとめ
  • 4 X線反射率のデータ解析の注意事項
  • 4.1 はじめに
  • 4.2 理論反射率の与えるプロファイルの一意性について
  • 4.3 個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方
  • 4.4 最小二乗フィッティング計算に由来する問題
  • 4.5 構造モデルに過度に依存しない解析の試み
  • 4.6 おわりに
  • 5 微小領域分析およびイメージングへの展開
  • 5.1 顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合
  • 5.2 放射光ナノビームによる微小領域分析
  • 5.3 高エネルギー白色X線による微小領域分析
  • 5.4 画像再構成法によるイメージング
  • 5.5 微小領域分析・イメージングの今後
  • 6 時々刻々変化する系の追跡への展開
  • 6.1 はじめに
  • 6.2 多チャンネルX線反射率法(Naudonの方法)
  • 6.3 白色X線反射スペクトル法
  • 6.4 従来の角度走査型の装置によるその場計測
  • 6.5 時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来
  • 7 X線反射率法の応用
  • 7.1 半導体薄膜
  • 7.2 ハードディスク
  • 7.3 X線光学用多層膜
  • 7.4 電気化学界面などの固液界面
  • 7.5 有機・高分子薄膜
  • 7.6 液体の表面,界面,単分子膜
  • 8 X線反射率法と併用すると有意義な関連技術
  • 8.1 微小角入射蛍光X線分析法
  • 8.2 微小角入射X線回折法
  • 8.3 共鳴軟X線スペクトル法
  • 8.4 GISAXS法
  • 8.5 X線光子相関分光法
  • 9 中性子の利用
  • 9.1 はじめに
  • 9.2 中性子反射光学の基礎
  • 9.3 中性子反射率法の特徴
  • 9.4 中性子反射率法の適用例
  • 9.5 X線反射率法経験者の目から見た中性子の利用
  • おわりに X線反射率の100年
  • 付録1 C++によるX線・中性子反射率計算プログラム
  • 付録2 Pythonによる反射率計算プログラム

製品情報

製品名 新版 X線反射率法入門
著者名 著・編:桜井 健次
発売日 2018年07月01日
価格 定価 : 本体6,300円(税別)
ISBN 978-4-06-153296-0
判型 A5
ページ数 384ページ
シリーズ KS物理専門書

著者紹介

著・編:桜井 健次(サクライ ケンジ)

物質・材料研究機構 先端材料解析研究拠点 上席研究員

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